仪器名称：电子探针
仪器英文名称：Electron Probe Microanannalysis
仪器规格型号：EPMA-1600
制造厂商：日本岛津公司

        一、应用领域
        金属材料、半导体材料、矿物、植物、生物、陶瓷、化石、高分子、电子器件及机械、石油、化工、考古、环境保护、刑事科学、文物保护、生物医学等领域。
        二、主要指标
        加速电压：0~30kV
        二次电子像分辨率6nm(30kV)，
        电子图像放大倍率：40倍～4000,000倍 ；
        元素分析范围：5B ～92U；
        X射线取出角：52.5°
        X射线分光晶体：RAP/PbST、LS5A/LS12L、LiF/PET、LiF/ADP;
        三、主要功能
        1、 可对样品微米区域进行化学成分分析；元素微量分析：达0.001%；分析的绝对灵敏度：达10－15克. ;
        B 样品表面或截面（包括纳米薄膜）的点扫描、线扫描、面扫描分析；
        C 用二次电子像、背散射电子像可观察样品表面形貌; 用样品电流像可观察试样表面原子序数差别；
        E 对某些元素进行元素状态分析;